研磨拋光中常見的拋光皮有哪些種類？

研磨拋光中常見的拋光皮有哪些種類？

在我們實際研磨拋光過程中，研磨拋光主要講的是化學(xué)機械拋光（CMP: Chemical Mechanical Polishing）。CMP 是化學(xué)的和機械的綜合作用，在一定壓力及拋光漿料存在下，在拋光液中的腐蝕介質(zhì)作用下工件表面形成一層軟化層，拋光液中的磨粒對工件上的軟化層進行磨削，因而在被研磨的工件表面形成光潔表面。

拋光液中的腐蝕介質(zhì)與被拋光表面材料發(fā)生了化學(xué)反應(yīng)，生成很薄的剪切強度很低的化學(xué)反應(yīng)膜，反應(yīng)膜在磨粒磨削作用下被去處，從而露出新的表面，接著又繼續(xù)反應(yīng)生成新的反應(yīng)膜，如此周而復(fù)始的進行，使表面逐漸被拋光修平，實現(xiàn)拋光的目的。

拋光皮的分類：
根據(jù)拋光皮磨料填充、材質(zhì)、表面結(jié)構(gòu)情況，共分為三大類

按磨料填充分為：無填充磨料和有填充磨料拋光皮

無填充磨料的拋光皮，在拋光過程中的相比較拋光工件光圈穩(wěn)定。

有填充磨料的拋光皮，含氧化鈰拋光皮和含氧化鋯拋光皮。

氧化鈰拋光皮：較能提高拋光速率；

氧化鋯拋光皮：較能提高被拋光工件的光潔度

按材質(zhì)的不同分為：不織布（無紡布）磨皮、發(fā)泡聚氨酯磨皮和阻尼布磨皮。

按表面結(jié)構(gòu)分為：有開槽和不開槽的拋光皮；

拋光皮的開槽種類：

拋光皮的作用：
1.把拋光液有效均勻地輸送到拋光皮的不同區(qū)域；

2.從被加工表面帶走拋光過程中的殘留物質(zhì)、碎屑等，達到去除效果；

3.傳遞和承載加工去除過程中所需的機械載荷；

4.維持拋光皮表面的拋光液薄膜，以便化學(xué)反應(yīng)充分進行；

5.保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形，以便獲得較好的產(chǎn)品表面形貌。

拋光皮不同材質(zhì)和制造工藝介紹：

1、不織布磨皮

薄狀聚酯纖維層疊后，用針反復(fù)撞擊使纖維結(jié)合在一起使其成為毛氈狀，并把它浸在聚氨樹脂或乳膠（SBR NBR等橡膠）中，然后切片，拋光，完成最終產(chǎn)品。

2、聚氨酯硬質(zhì)磨皮

聚氨酯預(yù)聚物和硬化劑（增鏈劑）、發(fā)泡劑按照規(guī)定量混合后，注入定型容器中做成塊狀，然后通過切片機加工成最終片狀磨皮。

3、阻尼布磨皮

聚氨酯樹脂和發(fā)泡添加劑顏料（炭黑）等混合后放入水中凝固，干燥成薄膜狀。然后通過拋光加工，粘上基材和雙面膠得到最終產(chǎn)品。

拋光皮性能分析：

影響拋光皮性能的因素：

內(nèi)部因素：

硬度—拋光皮的硬度決定保持面形精度的能力；

壓縮比—壓縮比反映拋光皮的抗變形能力；

涵養(yǎng)量—拋光皮的涵養(yǎng)量是單位體積的拋光皮存儲拋光液的質(zhì)量；

粗糙度—表面粗糙度是拋光皮表面的凹凸不平程度；

密度—密度是拋光皮材料的致密程度。

外部因素：

CMP是由運動學(xué)，力學(xué)，流體力學(xué)，化學(xué)，摩擦，磨耗等各種復(fù)雜作用來移除材料表面。

影響拋光皮性能的外部因素主要有拋光液的成份&濃度、拋光粉的粒徑、壓力、速度、時間、溫度等。